Vật liệu tốt nhất để sử dụng cho vòng giữ CMP là gì

Vật liệu tốt nhất để sử dụng cho vòng giữ CMP là gì?

Các tấm silicon là các tấm silicon được sử dụng trong việc sản xuất các mạch bán dẫn silicon, và sau đó là quá trình đánh bóng cơ học trong quá trình sản xuất các tấm silicon và là một liên kết rất quan trọng, chúng ta thường nghe thấy một vài inch của wafer, đại diện cho đường kính lớn hơn của Silicon wafer, hiệu suất của wafer silicon này càng tốt, hiện thân của sức mạnh kỹ thuật, vì vậy trong quá trình sản xuất của wafer, tốc độ năng suất đã trở thành một điều kiện rất quan trọng, đối với các yêu cầu đánh bóng bề mặt wafer cũng đang tăng lên, CMP Quá trình đánh bóng cũng ngày càng trở nên tinh vi hơn, vì vậy quá trình đánh bóng để sử dụng vòng cố định CMP trưởng thành cuối cùng

Trong quá trình đánh bóng wafer, vòng giữ CMP phải giữ wafer trong quá trình đánh bóng. Trong quá trình đánh bóng, các hóa chất khác nhau được thêm vào và các chất lỏng này có thể ăn mòn các thành phần được đánh bóng, do đó, nó yêu cầu vòng giữ CMP để có thể chịu được một số tải trọng cơ học nhất định, tính linh hoạt và khả năng chống ăn mòn tốt và các đặc điểm khác.

Tóm lại, để sản xuất các vòng giữ CMP, chúng tôi cần bộ xử lý để có độ chính xác xử lý rất cao và độ ổn định kích thước để giảm sự trầy xước của wafer sau này.

Thông thường chúng tôi chọn hai loại nhựa kỹ thuật đặc biệt: PPS và PEEK để xử lý và sản xuất các vòng giữ CMP.

Vật liệu PPS được đặc trưng bởi khả năng chống mài mòn cao, điện trở hóa học tốt và điện trở dung môi, cũng như các đặc tính ma sát tốt, loại vật liệu sạch mặt trời cao, sẽ không làm ô nhiễm wafer, so với vòng cố định CMP PEEK, Chi phí vòng cố định PPS CMP là Hạ, và đã hình thành một chuỗi công nghiệp hoàn chỉnh, với gia đình nhấn mạnh hiệu suất chi phí.

Vòng giữ CMP PEEK có hệ số ma sát cao hơn, so với hiệu suất ma sát vòng giữ CMP PPS là tuyệt vời hơn, có khả năng chống hóa học toàn diện và ổn định hơn, phạm vi điện trở cao hơn, do đó, vòng giữ CMP PEEK trong thời gian dài Môi trường gia công có độ bền cao ổn định hơn, trong thời gian tương đối, cùng điều kiện làm việc, dài hơn, nhưng chi phí cũng sẽ cao hơn so với một số.