Peek cho chất bán dẫn Tecapeek®cmp tự nhiên

Tecapeek CMP Natural được phát triển đặc biệt cho ứng dụng vòng giữ CMP và là một phần của danh mục đầu tư của Ensinger cho ngành công nghiệp bán dẫn. Đây là một vật liệu bằng nhựa Peek (polyetheretherketone) không được lấp đầy dựa trên polymer Victrex®. Rủi ro của khiếm khuyết wafer. Trong số các vật liệu vòng giữ CMP, Tecapeek CMP cung cấp các đặc tính mài mòn và ma sát tốt nhất, tính chất cơ học, độ ổn định kích thước và khả năng chống nhiệt độ, do đó cho phép tuổi thọ vòng dài nhất.

Vì khả năng chống mài mòn của nhựa Peek tốt hơn gấp ba lần so với PPS và Tecapeek CMP Natural có khả năng chống mài mòn tốt hơn 20 % so với các sản phẩm PEEK của đối thủ cạnh tranh, do đó có một lợi thế rõ ràng về tuổi thọ dịch vụ.

Nói chung, hàng tiêu dùng CMP được thay đổi trên bội số của một người có tuổi thọ ngắn nhất, điển hình là pad. Do đó, thời gian thay thế vòng thường được liên kết với pad pit pit stop. Ví dụ, trong một số điều kiện nhất định, vòng PPS có thể kéo dài khoảng 4 lần thay đổi pad, vòng PEEK tiêu chuẩn có thể kéo dài tới 12 lần thay đổi pad và vòng CMP Tecapeek có thể kéo dài đến 14 lần thay đổi pad. Điều này có tác động thuận lợi đáng kể đến tỷ giá hối đoái và tổng chi phí sở hữu.

Ngoài việc tối ưu hóa các thuộc tính vật liệu, Oblinger cũng đã phát triển kích thước ống đặc biệt phù hợp hơn với kích thước điển hình của vòng giữ CMP, do đó cho phép giảm chất thải và chi phí trong quá trình gia công. Ví dụ, sử dụng kích thước ống với OD 350 mm / ID 300 mm cho phép tiết kiệm chi phí vật liệu lên tới 27% so với OD 360 / ID thông thường 290 mm.

Như với tất cả các cấp độ bán dẫn của Ensinger, các ống tự nhiên CMP của Tecapeek được xử lý tuân thủ các yêu cầu sao chép chính xác của bộ bán dẫn (còn được gọi là sao chép chính xác hoặc CE) và kiểm soát chất lượng nghiêm ngặt hơn so với các lớp Peek công nghiệp. Kiểm soát và biện pháp chất lượng bổ sung cho phép giảm rủi ro của tạp chất và cải thiện căng thẳng bên trong và ổn định kích thước so với nhựa PEEK công nghiệp tiêu chuẩn. Chúng tôi có thể xác nhận rằng TECAPEEK CMP tự nhiên đáp ứng các hạn chế do chỉ thị của ROHS 2011/65/EU hạn chế các chất nguy hiểm trong thiết bị điện và cũng có thể cung cấp các tuyên bố phù hợp hơn theo yêu cầu.

Đối với các vòng giữ CMP yêu cầu sử dụng chi phí vật liệu thấp hơn và có thể sử dụng vòng đời thấp hơn, Ensinger cung cấp phiên bản PPS - Tecatron CMP Natural, cũng có hồ sơ thuộc tính đặc biệt được căn chỉnh với vòng giữ CMP. Đối với các ứng dụng bán dẫn khác không yêu cầu hồ sơ tài sản đặc biệt này, Ensinger cung cấp phiên bản PEEK lớp bán dẫn tiết kiệm chi phí hơn như tấm, thanh và ống-Tecapeek SX Natural.

Sự thật

Chỉ định hóa học

Peek (Polyetheretherketone)

Màu sắc

be

Tỉ trọng

1,31 g/cm3

NHỮNG ĐẶC ĐIỂM CHÍNH

Nhiệt độ độ lệch nhiệt tốt

khả năng gia công tốt

Chất chậm phát triển ngọn lửa

Thủy phân và kháng hơi quá nhiệt

Độ cứng cao

khả năng chống lại bức xạ năng lượng cao

Slide tốt và tính chất hao mòn

Khả năng chống leo cao

Các ngành công nghiệp mục tiêu

Công nghệ bán dẫn

TECAPEEK®CMP Bảng dữ liệu kỹ thuật tự nhiên