Semitron® MPR 1000 PAI

Semitron® MPR 1000 Hình dạng có khả năng chịu nhiệt tuyệt vời và tốc độ vượt trội và xói mòn thấp trong các buồng plasma. Vật liệu có độ tinh khiết cao này có hàm lượng ion thấp thường được chọn cho các ứng dụng buồng chân không trong các phân đoạn phụ cấy ghép ion, CVD và ion trong ngành công nghiệp bán dẫn và điện tử.

Semitron® MPR 1000 cho thấy sự gia tăng tuổi thọ so với các vật liệu truyền thống, ví dụ như lên tới 25 lần so với polyimide trong ozone trong một số trường hợp. Do tuổi thọ của nó, nó được chỉ định dựa trên các vật liệu truyền thống được sử dụng trong các ứng dụng buồng chân không như thạch anh, gốm sứ, polyimides và các loại nhựa kỹ thuật khác.

Tính chất vật chất

Hàm lượng ion thấp và vượt trội thấp

Kháng nhiệt tuyệt vời

Tốc độ xói mòn trong buồng huyết tương

Khả năng chống chip tối ưu, độ bền và khả năng máy móc

Được thiết kế dành riêng cho các ứng dụng buồng yêu cầu

Ứng dụng: buồng chân không dựa trên huyết tương, vòng kẹp, vòng rãnh, ốc vít, ghim, đầu vòi hoa sen, vòng lấy nét, cách điện, miếng đệm chân không

Về Semitron ®

Các sản phẩm cấp bán dẫn Semitron® được phát triển để giúp các nhà thiết kế và người dùng tối ưu hóa hiệu suất của thiết bị sản xuất thiết bị. Ngoài việc sản xuất thiết bị, nhiều vật liệu trong số này là lý tưởng cho các môi trường cụ thể nơi cần có độ mòn, kháng hóa chất và quản lý tĩnh điện.

Hai nhóm sản phẩm đã được phát triển. Một, rất phù hợp cho các ứng dụng xử lý và kiểm tra thiết bị và lần thứ hai cho các ứng dụng buồng CMP, Plasma và Etch thế hệ tiếp theo.

Các lớp Semitron có sẵn trong Tờ, Thanh (một số công thức) và các bộ phận gia công.